勻膠旋涂?jī)x學(xué)會(huì)2個(gè)參數(shù),輕松掌握！
更新時(shí)間：2020-05-13 點(diǎn)擊次數(shù)：1853
勻膠旋涂?jī)x對(duì)于從事微流控領(lǐng)域的研究者來(lái)說(shuō)并不陌生，它可以用來(lái)制備膜厚度<10nm薄膜，在1-100um厚度的光刻膠沉積光刻工藝中也常常用到。在微流控領(lǐng)域，載玻片、硅片、ITO導(dǎo)電玻璃等都可作為薄膜涂覆基底材料。勻膠旋涂?jī)x原理簡(jiǎn)單來(lái)講，通過(guò)片托產(chǎn)生負(fù)壓，將需旋涂基底材料吸附在片托上，然后將涂覆材料膠液滴注在基底材料表面，通過(guò)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速，來(lái)改變離心力大小，同時(shí)控制膠液流量，從而獲得想要的膜厚度，當(dāng)然，膜厚度還跟旋涂時(shí)間、膠液粘度、溫度以及濕度等因素有關(guān)。
勻膠旋涂?jī)x性能相關(guān)的幾個(gè)參數(shù)：
1.片托材質(zhì)：目前大部分勻膠機(jī)片托材質(zhì)采用的一般是鋁合金或者是普通塑料，原因是成本低，對(duì)于一般要求是能夠滿足需求的，但是對(duì)于要求比較嚴(yán)苛行業(yè)來(lái)說(shuō)，比如半導(dǎo)體以及化工行業(yè)，由于鋁合金抗腐蝕性不是很好，高溫和高壓會(huì)導(dǎo)致塑料你變形等原因，對(duì)于片托的要求就比較高，目前一般采用天然聚丙烯以及聚四氟乙烯材料，原因是這兩種具有材質(zhì)綠色環(huán)保、重量輕、強(qiáng)度大，堅(jiān)固耐用以及抗沖擊性能好等優(yōu)點(diǎn)。
2.真空吸附以及清洗系統(tǒng)：真空泵系統(tǒng)壓力標(biāo)定需準(zhǔn)確，若實(shí)際壓力降低，可能會(huì)存在飛片現(xiàn)象，容易產(chǎn)生實(shí)驗(yàn)事故。使用完旋涂?jī)x后，需在泵開(kāi)啟狀態(tài)，用有機(jī)溶劑進(jìn)行氣孔清洗，確保下次正常使用。
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